賀德克壓力傳感器是使用zui為廣泛的一種傳感器。傳統(tǒng)的壓力傳感器以機械結構型的器件為主，以彈性元件的形變指示壓力，但這種結構尺寸大、質(zhì)量重，不能提供電學輸出。隨著半導體技術的發(fā)展，半導體壓力傳感器也應運而生。其特點是體積小、質(zhì)量輕、準確度高、溫度特性好。特別是隨著MEMS技術的發(fā)展，半導體傳感器向著微型化發(fā)展，而且其功耗小、可靠性高。

半導體壓電阻型

半導體壓電阻抗擴散壓力傳感器是在薄片表面形成半導體變形壓力，通過外力（壓力）使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗效果，從而使阻抗的變化轉換成電信號。

賀德克壓力傳感器

靜電容量型壓力傳感器，是將玻璃的固定極和硅的可動極相對而形成電容，將通過外力（壓力）使可動極變形所產(chǎn)生的靜電容量的變化轉換成電氣信號。 （E8Y的動作原理便是靜電容量方式，其他機種采用半導體方式）。

技術參數(shù)：

技術參數(shù) （量程15MPa-200MPa）

參數(shù) 單位 技術指標 參數(shù) 單位 技術指標

靈敏度 mV/V 1.0±0.05 靈敏度溫度系數(shù) ≤%F·S/10℃ ±0.03

非線性 ≤%F·S ±0.02～±0.03 工作溫度范圍 ℃ -20℃～+80℃

滯后 ≤%F·S ±0.02～±0.03 輸入電阻 Ω 400±10Ω

重復性 ≤%F·S ±0.02～±0.03 輸出電阻 Ω 350±5Ω

蠕變 ≤%F·S/30min ±0.02 安全過載 ≤%F·S 150% F·S

零點輸出 ≤%F·S ±2 絕緣電阻 MΩ ≥5000MΩ(50VDC)

零點溫度系數(shù) ≤%F·S/10℃ ±0.03 推薦激勵電壓 V 10V-15V